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油扩散泵抽气系统的最大缺点是油蒸汽的污染。以下是具体措施与污染来源:

 消除系统油蒸气返流的具体措施为:
(1)油泵通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)。例如,可使一个按照预定速度开启的高真空阀,逐渐地开启它,保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量,并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力,以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。
(2)加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。
(3)在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。
(4)改善操作工艺,将扩散泵的加热功率调至最佳功率,避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中,返流将出现峰值,所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。    
(5)选用优质的扩散泵工作液。   
系统中污染物的主要来源如下:
(1)抽气系统中密封材料的放气造成的污染。特别是人造橡胶密封圈,密封油脂,润滑油等,也同样造成严重的污染。
(2)扩散泵油蒸汽的返流。这是最重大的污染源。
(3)前级油封机械泵油的返流。这个问题也很严重,当入口压力较高时,在达到过渡区(1~10-1Pa)压力时,机械泵的油蒸汽即可直接进入扩散泵内,对系统直接进行污染。很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当停机械泵时如不及时向泵内放大气,机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。
(3)系统中的零部件,在装配时用有油的手拿。用有油污的手套拿,这样粘染的有机分子可以造成系统内的污染。   
(5)当停后放大气时,使真空零部件在空气中粘污上水蒸汽,油烟等,造成对真空系统的污染。
 

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